质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。其采用主体不锈钢(316L) 结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、.聚四氟乙烯等；适用于多种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；响应速度快、软启动、应用稳定；工作压力范围宽(可以在高压或真空条件下工作)；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。
质量流量控制器主要应用于半导体制造行业的气体流量控制；分析仪器设备的气体计量与控制；多种形式的真空镀膜设备；环境检测与分析设备；化工、石化、食品行业气体流量监测和控制；特种材料表面处理装置与燃烧控制；混气配气系统和泄漏探测系统等
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