差压式质量流量控制器历史悠久、技术成熟、应用较广。按检测件的作用原理可分为：节流式、动压头式、水力阻力式、离心式、动压增益式和射流式等几大类。其是通过测量气体流过的某一段管路的两点之间的压力差来计算质量流量。
差压法工作原理测量气体质量流量的关键要素在于气体是做层流运动的。迫使气体做层流运动的方法有两种，一是通过文丘里管，二是通过层流片。丘里管是让管道直径变小的锥形圆管，方法层流片其实就是将一堆特殊的金属片叠加，片与片之间的间隙小到肉眼看不见，但是气体可以从其中通过，并且在其中被迫做层流运动。
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